恶臭废气【喷淋塔】处理

半导体和其他电子产品制造业产生的主要空气污染物，包括扩散、清洗、湿法蚀刻工艺产生的温室气体，有毒的、活性的以及腐蚀性物质［如酸性气体、掺合剂、清洗气体和挥发性有机化合物（VOC），目前常用的是喷淋洗涤塔+活性炭吸附箱处理达到排放标准。